Reactive magnetron sputter deposition and characterization of thin films from the Ti-Al-N and Sc-AI-N systems
- Författare
- Linköpings universitet Carina Höglund
- (Carina Höglund., Härtill 3 uppsatser, Licentiatavhandling (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2008)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry, and Biology, Linköping University | 2008 | Sverige, Linköping | [12], 42 sidor. ill. | 978-91-7393-996-6 |